L系列是科民電子專門(mén)為失效分析開(kāi)發(fā)的薄膜沉積系統(tǒng)。系統(tǒng)具有獨(dú)特設(shè)計(jì)的流場(chǎng)和溫場(chǎng)，能夠在低于前驅(qū)體源加熱溫度的條件下完成ALD工藝。

獲取詳細(xì)的系統(tǒng)技術(shù)規(guī)格，請(qǐng)與我公司銷售部門(mén)聯(lián)系。

關(guān)鍵詞: 失效分析原子層沉積系統(tǒng)

產(chǎn)品附件：

立即咨詢

如果您對(duì)我們的產(chǎn)品感興趣，請(qǐng)留下您的電子郵件，我們將盡快與您聯(lián)系，謝謝！

提交留言