中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所、武漢大學(xué)研究人員在Advanced Functional Materials上發(fā)表的關(guān)于浮柵結(jié)構(gòu)二維材料光電探測(cè)器研究方面取得的進(jìn)展文章節(jié)選。我們研發(fā)的TALD-200A型原子層沉積系統(tǒng)在該器件中完成了隧穿和阻隔氧化物的工作,成功助力該光電探測(cè)器的研發(fā)工作。(文章內(nèi)的光電探測(cè)器的具有很低的背景載流子強(qiáng)度)
關(guān)鍵詞:
隱藏域元素占位
我司助力中科院上海技物所、武漢大學(xué)完成突破性進(jìn)展!
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復(fù)旦大學(xué)成功研發(fā)世界首個(gè)半浮柵晶體管(SFGT),結(jié)果發(fā)表在《Science》,并有央視1套節(jié)目報(bào)道。我們提供了關(guān)鍵的柵隔離介質(zhì)薄膜制備設(shè)備和工藝方案。
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