9月6日上午，晶科能源首席科學(xué)家王琪來嘉興科民電子參觀指導(dǎo)，微電子設(shè)備與儀器工程中心展廳、納米薄膜技術(shù)重點實驗室、國家發(fā)改委“雙創(chuàng)”支撐平臺項目——面向新一代半導(dǎo)體薄膜材料制備技術(shù)的裝備與器件技術(shù)服務(wù)公共平臺、集成電路產(chǎn)教融合創(chuàng)新平臺。

  科民電子負責(zé)人夏洋老師向王琪介紹了工程中心和公司人才團隊引進和培育情況、團隊主要研究領(lǐng)域、長三角雙創(chuàng)示范基地聯(lián)盟集成電路專業(yè)委員會運行情況及“雙創(chuàng)”支撐平臺建設(shè)情況。工程中心和科民電子公司研發(fā)部負責(zé)人名帥強、市場部負責(zé)人郭耀亮就主導(dǎo)產(chǎn)品原子層沉積（ALD）系統(tǒng)、物理氣相沉積（PVD ）系統(tǒng)、反應(yīng)離子刻蝕（RIE）系統(tǒng)等的研發(fā)生產(chǎn)情況、核心競爭力、應(yīng)用場景、市場占有率等進行詳細講解。

  晶科能源首席科學(xué)家王琪表示，ALD是革命性的技術(shù)，在太陽能電池組件方便具有不可替代的作用，雙方可發(fā)揮各自優(yōu)勢，進行深度合作。

  嘉興科民電子設(shè)備技術(shù)有限公司是中國科學(xué)院微電子研究所在嘉孵化的高端裝備制造企業(yè)，主要從事原子層沉積（ALD）設(shè)備、集束型薄膜沉積系統(tǒng)（Cluster System）、紫外 LED 光刻機（Lithography）、反應(yīng)離子刻蝕機（RIE）等高端半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)。公司所研發(fā)的集成電路高端裝備應(yīng)用于尖端科技，助力客戶進行高尖端科學(xué)研究，客戶包括清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、中科院半導(dǎo)體研究所等國內(nèi)科研單位。

  產(chǎn)品成功通過大型微電子、MEMS 制造企業(yè)產(chǎn)線驗證，成功應(yīng)用于高新產(chǎn)業(yè)，成為國內(nèi)知名企業(yè)主力產(chǎn)品線ALD 工序唯一設(shè)備供應(yīng)商，是國內(nèi)首個進入大批量制造產(chǎn)業(yè)化市場的原子層沉積機型，打破了進口設(shè)備在產(chǎn)業(yè)化市場壟斷地位，成功應(yīng)用到中芯國際、杭州士蘭微、北方夜視，協(xié)鑫納米等企業(yè)。