國家自然科學(xué)基金杰出科學(xué)家浙江行

暨科學(xué)儀器類項(xiàng)目成果展

　　2019年11月28日-30日，國家自然科學(xué)基金杰出科學(xué)家浙江行（暨科學(xué)儀器類項(xiàng)目成果展）年底總結(jié)會(huì)在嘉興成功召開。期間在夏洋的陪同下基金委高瑞平主任、呂達(dá)仁院士、戴瓊海院士出席參觀；其中長光所原副所長申德振、半導(dǎo)體所原副所長俞育德、電工所副所長韓立、北京大學(xué)教授張志勇、中山大學(xué)教授劉陽輝、復(fù)旦大學(xué)教授孫清清、浙江大學(xué)教授王宏濤等專家參加專題研討會(huì)。

專家及項(xiàng)目組成員合影

　　一百多位專家及項(xiàng)目組成員于29號(hào)去往南湖之畔，參觀了國家自然科學(xué)基金成果展、及科民電子展出的雙腔ALD、等離子體ALD、集束薄膜沉積、光刻機(jī)等高端儀器設(shè)備，并產(chǎn)生了濃厚的興趣，達(dá)成了采購意向。

項(xiàng)目負(fù)責(zé)人夏洋為相關(guān)專家介紹設(shè)備研發(fā)亮點(diǎn)

科民雙腔ALD設(shè)備

科民等離子體ALD設(shè)備

科民集束薄膜沉積設(shè)備

科民集束薄膜沉積設(shè)備