從被動“參觀實踐”到主動“動手實驗”科民助力科教融合創(chuàng)新

發(fā)布時間:

2017/07/25

近期，嘉興科民電子創(chuàng)始人、董事長，微電子所微電子設(shè)備技術(shù)研究室主任夏洋、微電子所陳寶欽、解婧等申報的成果《集成電路科教設(shè)備研發(fā)和科教融合模式創(chuàng)新與實踐》獲評“2016年中國科學(xué)院教育教學(xué)成果特等獎”。這是本次特等獎的唯一獲得者。

圖1. 科研、教學(xué)用雙腔室PEALD設(shè)備

　　中國科學(xué)院教育教學(xué)成果獎是由中國科學(xué)院前沿科學(xué)與教育局組織，經(jīng)中國科學(xué)院大學(xué)初選推薦、專家評審委員會評審、中國科學(xué)院院長辦公會審核批準(zhǔn)的院級教育教學(xué)成果最高獎，每4年評選1次。申請該獎項的成果應(yīng)經(jīng)過2年以上實踐檢驗并取得成效，這意味著科民電子原子層沉積機在國內(nèi)處于領(lǐng)先水平。

圖2. 某款定制化科研用ALD設(shè)備

　　科民電子董事長夏洋等開發(fā)了國際上首套集成電路科教融合設(shè)備（以科民ALD系列原子層沉積機為基礎(chǔ)），具有安全、可操作性強、低成本易維護、多視窗一體化設(shè)計等方便教學(xué)的特點，實現(xiàn)了從被動“參觀實踐”到主動“動手實驗”的教學(xué)模式新，并在長三角等培訓(xùn)基地應(yīng)用示范，在全國產(chǎn)生了重大影響。