嘉興科民公司高端ALD力助復(fù)旦科學(xué)家實(shí)現(xiàn)重大原始創(chuàng)新

發(fā)布時(shí)間:

2012/10/20

　　2013-08-12新聞聯(lián)播：我國(guó)科學(xué)家實(shí)現(xiàn)微電子領(lǐng)域重大原始創(chuàng)新，復(fù)旦大學(xué)張衛(wèi)團(tuán)隊(duì)成功研發(fā)半浮柵晶體管（SFGT），該結(jié)果發(fā)表在國(guó)際最權(quán)威的《科學(xué)》雜志上。半浮柵晶體管可在多類產(chǎn)業(yè)中應(yīng)用，潛在市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到300億美元以上。更令國(guó)人振奮的是，半浮柵晶體管中關(guān)鍵柵隔離介質(zhì)是在我國(guó)自主研發(fā)生產(chǎn)的儀器設(shè)備上成功完成的（嘉興科民公司的ALD設(shè)備）。該設(shè)備由中科院微電子研究所夏洋團(tuán)隊(duì)研發(fā)成功（重大科技專項(xiàng)），與嘉興科民電子公司聯(lián)合進(jìn)行開發(fā)生產(chǎn)，具有國(guó)際領(lǐng)先的性能，已銷往北大、復(fù)旦、西安電子科大、南大等多家科研機(jī)構(gòu)及出口美國(guó)。該成果表明我國(guó)在微電子領(lǐng)域已打破了我國(guó)在高端儀器設(shè)備受制于人的局面，具備自主開發(fā)高端設(shè)備，創(chuàng)造重大原創(chuàng)突破的能力。